1. Proje Arkaplanı

Islak çekme ekipmanları, yarı iletken ve hassas üretim süreçlerinde kullanılan kritik bir araçtır.Temel işlevi, kontrollü kimyasal çözeltiler ve sıcaklık yönetimi yoluyla alt katmanlardan ince filmler veya kaplı katmanlar çıkarmaktır.Bu sistemler, mikroelektronik, optik bileşenler, esnek ekranlar ve süreç tutarlılığının ve istikrarının gerekli olduğu diğer yüksek hassasiyetli endüstrilerde yaygın olarak uygulanmaktadır.

Tipik bir ıslak temizleme sistemi, kimyasal dolaşım modülü, hassas sıcaklık kontrol sistemi, çözüm dağıtım sistemi ve programlanabilir bir otomasyon platformunu içerir.Çünkü çıkartma kalitesi işlem parametrelerine çok hassastır., ekipman, sıvı seviyelerini, sıcaklığı, akış hızını ve kimyasal istikrarını titiz bir şekilde kontrol altında tutmalı ve aynı zamanda altyapı hasarını azaltarak tekdüze çıkarma sonuçlarını sağlamak zorundadır.

Bu proje, yarı iletken ıslak soyma üretim hattı için istikrarlı, doğru ve yüksek verimli bir otomasyon çözümü sunmaya odaklanarak verimi ve ürün kalitesini artırmaktadır.

2Çözüm Özetleri

• Ana denetleyici:Keyence PLC

• Uygulanabilir süreç:Front-end litografi “şekil öncesi ıslak işlem”

• I/O yapılandırması:Yaklaşık 100 dijital I/O noktası

• Yıllık dağıtım hacmi:80 birim

3. Teknik Uygulama

Islak çekme ekipmanları, RS serisi I / O modülleri ile birleştirilen Keyence PLC'yi benimser ve tam işlem yürütülmesi için tasarlanmış tam ve güvenilir bir otomasyon kontrol sistemi oluşturur.

1. Çoklu sensörlü Giriş Alım

I/O modülü, aşağıdakiler de dahil olmak üzere çeşitli sensörlerden temel süreç sinyallerini toplar:

• Sıvı seviyesi sensörleri

• Sıcaklık sensörleri

• Akış sensörleri

• Kimyasal dolaşım durum algılayıcıları

Bu sinyalleri, kimyasal arzın, sıcaklık tutarlılığının ve dökme döngüsü boyunca süreç istikrarının doğru bir şekilde izlenmesini sağlar.

2- Kesin bir aktüatör kontrolü.

Yüksek hızlı mantıksal işleme aracılığıyla, PLC, I/O modüllerini kontrol eder ve koordinasyonlu eylemleri yürütür:

• Kimyasal ısıtma ayarları

• Çözümün tam dağıtımı

• Temizlik ve dolaşımı değiştirme

• Valf kontrolü

• Güvenlik koruması ve kilitleme

Bu, tüm soyma sırasının sorunsuz, verimli ve güvenli bir şekilde çalışmasını sağlar.

3Süreç tutarlılığının iyileştirilmesi

Otomasyon insan hatasını en aza indirgenir ve veri izlenebilirliğini artırır.

4Çözüm Avantajları

Kompakt ve Hafif Tasarım

Modüler yapı, büyük ölçekli ıslak işleme hatlarına sorunsuz bir entegrasyon sağlayarak kurulum alanını azaltır ve esnekliği artırır.

Kurulumu ve Bakımı Kolay

Plug-and-play I/O mimarisi kablolama karmaşıklığını azaltırken, PLC hızlı sorun giderme ve teşhisleri destekler.

5. Verilen Sonuç ve Değer

Keyence PLC + RS I / O otomasyon mimarisini uygulayarak, ıslak çıkarma sistemi:

• Daha yüksek kesme tutarlılığıyarı iletken düzeyinde hassasiyet gereksinimlerini karşılayan

• Geliştirilmiş otomasyon ve operatör müdahalesinin azaltılması

• Üretim verimliliğinin ve verimliliğinin artması

• Gelecekteki süreç yükseltmeleri için güçlü ölçeklenebilirlik

Bu çözüm, ön uç litografi ön işleme hatlarında başarılı bir şekilde uygulanmış ve müşterilerden son derece olumlu geri bildirimler almıştır.