Yarım iletken kaplama ekipmanları için otomasyon kontrol çözümü

Yarım iletken kaplama ekipmanları için otomasyon kontrol çözümü

Davayla ilgili geçmiş:
Yarım iletken endüstrisinde, fotoretifi işleminde kaplama makineleri gereklidir ve bu makineler, waferlere veya substratlara fotoresist veya diğer işlevsel malzemelerin uygulanmasından sorumludur.Spin kaplama veya sprey kaplama yöntemleri kullanılarak, bu makineler, desenleme doğruluğunu sağlamak için eşit ve istikrarlı ince filmler oluşturur.ve yüksek doğruluklu konumlandırma sistemleriGenellikle üretim verimliliğini artırmak ve tutarlı kaplama kalitesini sağlamak için otomatik yükleme / boşaltma kollarına ve gerçek zamanlı geri bildirim kontrol sistemlerine sahiptirler.

Çözüm:

• Ana denetleyici:OMRON PLC

• Uygulanabilir süreç:Kaplama

• Proje I/O yapılandırması:MTC-EEC-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2

• Yıllık Kullanım:1 milyon set

Bu projede, müşteri, kaplama ekipmanları için kompakt ve verimli bir pnömatik kontrol sistemi oluşturmak için bir OMRON PLC'yi Decowell'in MTC valf adası ürünleriyle birleştirir.Solenoid valfler, püskürtme nozelinin dikey ve yatay hareketini hassas bir şekilde kontrol etmek için silindirleri tahrik eder, kaplama yüksekliğini ve konumunu doğru bir şekilde sağlayan ek silindirler, kaplama ile konveyör sistemi arasında substratları taşıyan otomatik yükleme ve boşaltma kollarını çalıştırır.

Sistem, pozisyon sensörlerinin ve manyetik anahtarların kolay bir şekilde bağlanmasını sağlayan valf adasında I / O modülleri içerir.Modüler mimari ile, sistem, farklı ekipman konfigürasyonlarını karşılamak için mükemmel ölçeklenebilirlik ve esneklik sunar.

Uygulama Avantajları:

• Yüksek entegrasyon kablolamaları azaltır ve panel alanını tasarruf eder

• Gelecekteki sistem yükseltmeleri için genişletilebilir I/O modülleri

• Spray nozzles ve manipülasyon kolları için doğru hareket kontrolü

• Yüksek hacimli üretim için uygun sabit, verimli performans